集成电路产品比如存储芯片的成本价格、竞争实力和工艺技术息息相关,洁净室工程作为项目建设、投产过程中的的环节,属于生产辅助性工程,直接和投资相关,不受限于技术瓶颈,即使我国在制造工艺上尚存在差距,但是洁净室工程行业不受影响,获益于我国半导体产业的发展。洁净室是指将一定空间范围内的空气中的微粒子、有害气体、细菌等污染物排除,并将室内的温度、湿度、洁净度、压力、气流速度与气流流向、噪音振动及照明、静电控制在某一需求范围内,而所给予特别设计的空间。洁净室的主要原理即利用流体力学的相关性质来控制室内污染源。
保湿性能好,强度高,隔热保温,芯材导热系数:λ<=0.041w/mk。强度高:可作天花围护规划板材承重,抗弯抗压。3、施工方便,重量轻:10-14千克/平方米,相当于砖墙的1/30 ,净化厂房隔墙、顶板一般多选用50mm厚的夹板;并且彩钢板设备灵敏方便:施工周期短,车间可以依据出产需要进行调整,运用彩钢板墙体,车间改造施工愈加方便。
设计条件(设计参数):洁净车间温度要求20℃~25℃;湿度要求45%~65%;洁净要求10000级。厂房平面布置:空调末端采用高效过滤器;洁净空调机设在模条房,楼板承重必须符合设备运行负荷要求。a、洁净区域:洁净车间洁净度1万级面积约110m²;洁净前区设人员换鞋区、更衣室、风淋室等,隔离外界污染。洁净区人员流动方向:换鞋、一次更衣---风淋室---洁净车间。在净化车间设安全门,便於人员疏散。(进入风淋室前需作一道空气过滤)洁净区物料流动方向:传递窗---洁净车间---传递窗---其它工序;b、其它区域:由甲方自行负责,不在本设计方案范围内。